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電気用語集

ろ

露光装置

項目 露光装置　／　ろこうそうち
英語 lithography
意味 半導体や液晶パネルの基板の作成などに用いられる、回路パターンなどをレーザー光で「現像」する装置。また、その過程。「フォトリソグラフィ」「ステッパー」とも呼ばれる。