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スパッタリング
項目
スパッタリング ／ すぱったりんぐ
英語
sputtering
意味
低圧気体中の金属を加熱あるいはイオン照射することによって金属分子を飛ばし，それをほかの物体に付着させること。金属化合物を表面に付着させた熱線反射ガラスの製法などに用いられる。