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シーブイディー【CVD】
項目
シーブイディー【CVD】
意味
〔chemical vapor deposition〕半導体・絶縁体・金属などをガスにして加熱した基板上で化学反応により堆積させ，薄膜を形成する技術。化学的気相成長法。化学蒸着法。→真空蒸着